李金城 
臺灣HTC真空閥門是指在真空系統(tǒng)中，用來改變氣流方向，調(diào)節(jié)氣流量大小，切斷或接通管路的真空系統(tǒng)元件。真空閥門關(guān)閉件是用橡膠密封圈或金屬密封圈來密封的。
常用真空閥門產(chǎn)品
真空閥
用于高真空或超高真空系統(tǒng)設(shè)備，當(dāng)必須在封閉的真空處理系統(tǒng)中保持真空。真空閥用于控制進(jìn)入真空腔體的氣流，隔離，排氣，提供減壓或控制傳導(dǎo)。閘閥、Inline閥和角閥是用于高真空或超高真空應(yīng)用的最常見類型的真空閥。額外的閥門類型包括蝶閥，傳輸閥，球閥，鐘擺閥，全金屬閥，真空閥，鋁合金角閥，特氟龍涂層真空閥和直通閥。
蝶閥
是快速打開的閥門，由金屬圓盤或葉片組成，其樞軸線與管道中的流動方向成直角，當(dāng)在軸上旋轉(zhuǎn)時(shí)，閥門密封閥體中的閥座。
傳輸閥（矩形閘閥）
適用于負(fù)載鎖定真空腔體和轉(zhuǎn)移室之間的分隔閥，以及轉(zhuǎn)移室和半導(dǎo)體制造設(shè)備中的處理室之間的分隔閥。
真空球閥
是四分之一轉(zhuǎn)直通流量閥，具有圓形封閉組件，帶有匹配的圓形閥座，可實(shí)現(xiàn)均勻的密封應(yīng)力。
鐘擺閥
是在過程真空腔體和渦輪分子泵入口之間安裝一個(gè)大節(jié)流閥。這種真空鐘擺閥通常設(shè)計(jì)為閘閥或擺閥，應(yīng)用包括OLED，FPD和PV工業(yè)制造系統(tǒng)。
全金屬閥門
設(shè)計(jì)用于超高真空環(huán)境，其中高溫不允許使用彈性體和低溫墊片金屬。可烘烤的全金屬閥門可提供從大氣壓到10-11mbar以下的可靠高溫密封。
真空閥門
可在半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)和化學(xué)和微粒污染的應(yīng)用中可靠地運(yùn)行。它們可用于粗真空，高真空或超高真空環(huán)境。
鋁合金角閥
的入口與出口成直角。這些角閥材料為鋁A6061-T6，用于半導(dǎo)體和儀器制造，研發(fā)和工業(yè)真空系統(tǒng)的粗到高真空應(yīng)用。
鐵氟龍涂層真空閥是一種完全設(shè)計(jì)的不銹鋼真空組件設(shè)備，具有耐用且高度耐化學(xué)腐蝕的涂層。
臺灣HTC真空閥門具有下列特點(diǎn)：
壓力低于大氣壓，而閥瓣上的壓降不能超過1公斤力/厘米。介質(zhì)的工作溫度取決于使用裝置的工藝過程。溫度一般不超過-70 ~ 150℃的范圍。
對這類閥門最基本的要求是保證連接的高度密封性和結(jié)構(gòu)與墊片材料的致密性。
按介質(zhì)壓力真空閥門可分成四組：
1）低真空閥門：介質(zhì)壓力p=760~1毫米汞柱.
2）中真空閥門：p=1×10-3 毫米汞柱。
3）高真空閥門：p=1×10-4 ~1×10-7 毫米汞柱.
4）超高真空閥門：p≤1×10-8 毫米汞柱。
作為通徑小于250毫米的閉路閥門，被廣泛采用的的閥桿作直線運(yùn)動的真空波紋管截止閥。閘閥卻受到較大的限制，但這主要是對于大通徑來說的。可用的還有球 形旋塞閥（球閥）、柱塞閥和蝶閥。作真空閥用的旋塞閥未得到推廣，因?yàn)樾y需要用油潤滑，使油汽可能進(jìn)入真空系統(tǒng)，而這是不允許的。真空閥門既可用現(xiàn)場手控和遙控，也可用電動、電磁傳動（電磁閥）、氣動和液動控制。
